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蚀刻技术 一、名词定义 均匀性（ Uniformity）-- 相对平均值的变化，常在描述蚀刻速率，CD 和淀积物厚度时使用。 有以下几种百分数表示的数学定义： 平均均匀性=[(Max-Min)÷(2× ***G)]× 100% 中值均匀性=[(Max-min)÷ (Max＋Min)]× 100% 3sigma 均匀性=(3× STD)÷ ***G× 100% 选择比 (Selectivity) – 不同材料蚀刻速率的比值。 中止层 (Stopping layer) – 停止层，通常通过终点控制。 剖面形貌 (Profile) – 器件结构横截面的形状和倾斜度。

蚀刻标牌制作

蚀刻标牌制作手法是加工金属标牌的一种常见手法，随着金属材料在标牌设计、标识牌设计中应用的增加，金属标牌批发，蚀刻标牌制作、标识牌制作方法也日渐流行，金属标牌加工，应用广泛。蚀刻是一种采用采用化学手段侵蚀材料，制作标牌的方法，龙岗标牌，是传统标牌制作方法之一。现代丝网印刷的引入使蚀刻标牌制作法效率更好，效果更好。

根据郑州佳亿标牌设计制作公司***的介绍，丝网印刷法蚀刻标牌制作主要包括表面清理、印料调配、丝网印版制作印刷、腐蚀、清洁干燥等几个步骤。

1、表面清理。在进行蚀刻标牌制作前，制作者应清理铜、铁、铝等标牌制作基材，可用稀***或碳酸钠溶液清洁，保证标牌制作基材的洁净、光滑；

2、印料调配。蚀刻标牌制作应该选用抗腐蚀的特殊印料。常用的有厚漆印料和碱溶性抗蚀印料。这些蚀刻标牌制作用的抗腐蚀印料具有成膜性好、易干、过网性好、去除方便等性能，非常实用。

3、丝网印版制作印刷。表面清洁结束后，标牌制作者可按照一般丝网印刷方式制作丝网印版，为下一步的丝网印刷做准备。印刷一般采用机械印制进行。

4、腐蚀。腐蚀是蚀刻标牌制作***重要的步骤。在进行这一步操作时，金属标牌厂家，操作者应细心、小心，合理控制蚀刻程度。保证标牌制作、标识牌制作效果。

5、清洁干燥。清洁干燥是蚀刻标牌制作的***后一步，经过清洁干燥后，蚀刻标牌基本完成。采用蚀刻方式制作的标牌在仪器、仪表标牌、设备编号牌等领域都有很好的应用。

条宽损失 (Etch bias) 过蚀刻 (Over etch) – 在平均膜厚完全蚀刻掉以后的额外蚀刻。补偿蚀刻速率和膜厚的不均匀 性。 残留物 (Residues) – 在蚀刻和平版印刷过程中无意留下的物质。 微掩膜（Micro-masking）-- 由于微粒，薄膜掺杂以及残留物产生的无意留下的掩膜。 糊胶（Resist reticulation）-- 温度超过 150 摄氏度时光刻胶产生的燃烧和折皱。 纵横比（Aspect ratio）-- 器件结构横截面深度和宽度的比率。
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